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Funding Code
NT 2638 /2
Project Title
NT 2638 /2
Description
Investition zur meßtechnischen Unterstützung der Technologien für die Mikroelektronik: Beschaffung einer Sekundärionen-Mikrosonde
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Start Date
1982
End Date
30.06.1984
Framework Progam
Funding Program
BMBF