Verbundvorhaben: REWASI - Niedrige Waferkosten durch Recycling von Silizium-Sägeabrieb und Einsatz von Wasser als kostensparende Trägerflüssigkeit im Vieldrahtsägeprozess, Teilvorhaben: Entwicklung und Evaluierung eines wasserbasierten Mehrdrahtsägeprozesses sowie eines Prozesses zum Siliziumrecycling