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NT 0930 /4
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FKZ
NT 0930 /4
Fact Sheet
Partner
Project Title
NT 0930 /4
Description
Strukturerzeugung auf Halbleitern mit Röntgenstrahlen: Vergleich und Optimierung der Maskentechnologien
Start
01.01.1979
End
31.12.1980
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
