Verbundprojekt: Materialbearbeitung mit ultrakurzen Laserpulsen unter Verwendung schneller Deflektoren und Frequenzkonversion im Anlagenkonzept (MaLDeAn) - Teilvorhaben: Verfahrensuntersuchungen zum Ultrakurzpulsabtrag metallischer Schichten auf polymeren Substraten auf polymeren Substraten
