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Funding Code
03X3546F
Project Title
03X3546F
Description
Verbundvorhaben SIEGEN: Silicium basierte Hochtemperatur-Thermogeneratoren auf Wafer-Level, Teilvorhaben: Material- und Prozeßentwicklung für die Herstellung von Silizium basierten Hochtemperatur-Thermogeneratoren
Keyword(s)
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Start Date
2011
End Date
30.06.2014
Framework Progam
Funding Program
BMBF