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03X3546F
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03X3546F
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Project Title
03X3546F
Description
Verbundvorhaben SIEGEN: Silicium basierte Hochtemperatur-Thermogeneratoren auf Wafer-Level, Teilvorhaben: Material- und Prozeßentwicklung für die Herstellung von Silizium basierten Hochtemperatur-Thermogeneratoren
Keywords
SIEGEN
Start
01.01.2011
End
30.06.2014
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Ressourceneffiziente Werkstoffe
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF