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Fraunhofer-Gesellschaft
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01M2966G/7
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Funding Code
01M2966G/7
Details
Project Partner
Project Title
01M2966G/7
Description
Verbundprojekt: Online-Diagnose/in situ-Kontrolle (SF-EOD)
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Keyword(s)
Online-Diagnose/in si...
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Start Date
1996
End Date
31.03.1999
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF