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Funding Code
16N10419
Project Title
16N10419
Description
Verbundprojekt: Implementing manufacturing science solutions to increase equipment productivity and fab performance (IMPROVE) - Teilvorhaben: Erarbeitung von Spezifikationen, Erstellung und Test von Modellen und Simulationsumgebungen, Koordination des Forums für Gerätehersteller
Keyword(s)
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Start Date
2009
End Date
30.06.2012
Framework Progam
Funding Program
BMBF