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Funding Code
16N9743
Project Title
16N9743
Description
Verbundprojekt: Neuartige Technologien für Hochvolumenanwendungen von Silizium Mikrosystemen (ProMikron) - Teilvorhaben: Waferdünnungstechnik für mikrosystemtechnische Waferstapel
Keyword(s)
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Start Date
2008
End Date
30.11.2011
Framework Progam
Funding Program
BMBF