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Funding Code
02PG2261
Project Title
02PG2261
Description
Verbundprojekt: Entwicklung eines Selbstmontage-Verfahrens für die Systemintegration von sehr kleinen Silizium-Bauelementen (ASSEMBLE), Schwerpunkt: Entwicklung von Verfahrenstechniken zur Oberflächenmodifikation
Keyword(s)
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Start Date
2006
End Date
30.09.2009
Framework Progam
Funding Program
BMBF