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Fraunhofer-Gesellschaft
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Funding Code

NT 2644 /7

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Project Title
NT 2644 /7
Description
Verbundprojekt: Aufbau und Vorbereitung der Arbeitsgrundlagen eines Labors für die Sub-Mym-Technologie am Berliner Elektronenspeicherring
Keyword(s)

Submikron

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Start Date
1982
End Date
30.06.1987
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung  
Funding Program
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich  
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung  
BMBF
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