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13AS0130/0
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Funding Code
13AS0130/0
Details
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Project Title
13AS0130/0
Description
Piezoresistive und kapazitive Siliziumdrucksensoren mit integrierter Signalvorverarbeitung
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Start Date
1989
End Date
30.09.1992
Framework Progam
Technologie- und Innovationsförderung
Funding Program
Mikroperipherik - mikromechanische Sensoren
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF