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Funding Code
03C0349B
Project Title
03C0349B
Description
Verbundprojekt: Analyse und Erprobung elektrostatischer Haftmechanismen als Handhabungstechnik für dünne Silizium Wafer - Smart Carrier
Keyword(s)
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Start Date
2002
End Date
31.07.2004
Framework Progam
Funding Program
BMBF