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13AS0121/1
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13AS0121/1
Fact Sheet
Partner
Project Title
13AS0121/1
Description
Verbundprojekt: Chemische Gassensoren in Dünnschichttechnik - Teilvorhaben: Herstellungstechnologie
Keywords
Dünnfilm-Gassensoren
Start
01.01.1989
End
31.12.1991
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Mikroperipherik - chemische Sensoren
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
