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NT 2756 /4
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FKZ
NT 2756 /4
Fact Sheet
Partner
Project Title
NT 2756 /4
Description
Weiterentwicklung der Röntgenstrahllithographie zur Vorbereitung der Industriellen Anwendung
Start
01.01.1988
End
31.12.1991
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
