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Projekt
NT 2735B/0
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FKZ
NT 2735B/0
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Project Title
NT 2735B/0
Description
Herstellung und Elektronenoptische Vermessung von Mikromechanischen Eichnormalen für die Halbleitertechnik
Start
01.07.1987
End
31.12.1989
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
