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Projekt
NT 0772A/4
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FKZ
NT 0772A/4
Fact Sheet
Partner
Project Title
NT 0772A/4
Description
Die Bestrahlung mit Hochenergetischen Elektronen als Produktionsverfahren zur Einstellung der Minoritätsträgerlebensdauer
Start
01.01.1978
End
31.12.1978
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Bauelemente und Strukturen für den Sub-100 nm Bereich
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
