English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Projekt
16SV520 /9
Export
Statistics
Options
FKZ
16SV520 /9
Fact Sheet
Partner
Project Title
16SV520 /9
Description
Verbundprojekt: Mikrosysteme in CMOS-Technologie (MIMOS) - Teilvorhaben: Intelligentes Drucksensorsystem in CMOS-Technologie mit BESOI-Substraten
Keywords
Mikrosysteme in CMOS-...
Start
01.08.1996
End
31.01.2000
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Wissenschaftliche Grundlagen für die Mikrosystemtechnik
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF