FKZ

16SV520 /9
Project Title
16SV520 /9
Description
Verbundprojekt: Mikrosysteme in CMOS-Technologie (MIMOS) - Teilvorhaben: Intelligentes Drucksensorsystem in CMOS-Technologie mit BESOI-Substraten
Keywords
Thumbnail Image
Start
01.08.1996
End
31.01.2000
Framework
fundingProgram
Funder
BMBF