Funding Code

16SV520 /9

Project Title

16SV520 /9

Description

Verbundprojekt: Mikrosysteme in CMOS-Technologie (MIMOS) - Teilvorhaben: Intelligentes Drucksensorsystem in CMOS-Technologie mit BESOI-Substraten

Keyword(s)

Mikrosysteme in CMOS-...