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NT 2717B/5
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FKZ
NT 2717B/5
Fact Sheet
Partner
Project Title
NT 2717B/5
Description
Schwerpunkt Gaas-Elektronik - Verbundprojekt: Prozesstechnologie - Teilvorhaben: Prozesstechnologie für Meterofet-Strukturen
Keywords
Prozeßtechnologie
Start
01.07.1986
End
30.06.1988
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Integrationstechnik mit Verbindungshalbleitern (z.B. Quantenstrukturbauelemente)
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF