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Funding Code
02PD2386
Project Title
02PD2386
Description
Verbundprojekt: Innovative Fertigungsverfahren für neue Produkte auf der Basis dünner Silizium Bauelemente (InnoSi), Teilprojekt: Entwicklung von Trägertechniken für dünne Wafer und Prozessentwicklung für Chip-Montage und -Kontaktierung
Keyword(s)
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Start Date
2001
End Date
30.09.2003
Framework Progam
Funding Program
BMBF