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NT 2775 /0
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FKZ
NT 2775 /0
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Project Title
NT 2775 /0
Description
Gaas-Technologie: Integration von Einzelprozessen zu Standardprozessketten zur Untersuchung von Ausbeutestatistiken und Fehlermechanismen
Start
01.01.1989
End
31.12.1993
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Entwicklung und Untersuchung neuartiger Materialien und Herstellungsverfahren
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF