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16SV5376
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FKZ
16SV5376
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Project Title
16SV5376
Description
Verbundprojekt: Nanostrukturierte Oberflächen für steuerbare optische Komponenten - NANO3PT -, Teilvorhaben: Mikro-/Nanosystementwurf als Bestandteil der Integrationsebene
Keywords
Nanostrukturierte Obe...
Start
01.04.2011
End
31.03.2015
Framework
Technologie- und Innovationsförderung
fundingProgram
Sonstiges in der Projektförderung der Mikrosystemtechnik
Funder
Deutsches Bundesministerium für Bildung und Forschung
BMBF
