Elektroakustischer Resonator und Verfahren zu dessen Herstellung

Die Erfindung betrifft einen elek¬tro¬akus¬tischen Resonator (1) mit einer Diamant¬schicht (2) mit einer ersten Seite (21) und einer gegenüberliegenden zweiten Seite (22) und einer piezo¬elek¬trischen Schicht (4), welche auf der zweiten Seite der Diamant¬schicht (22) angeordnet ist, wobei die Diamant¬schicht (2) mit der ersten Seite (21) auf ein zweites Substrat (6) aufgebracht ist. Weiterhin betrifft die Erfindung zwei Verfahren zur Herstellung eines elektroakustischen Resonators (1).

The invention relates to a method for manufacturing an electroacoustic resonator comprising the steps of: Providing a first substrate having a first side and an opposite second side; depositing a diamond layer having a first side and an opposite second side on said first substrate, wherein the second side of the diamond layer is in contact with said first side of the first substrate; removing the first substrate; forming a piezoelectric layer on the second side of the diamond layer; applying a second substrate to the first side of the diamond layer.