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Patente
Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen mehrlagigen Leiterstrukturen
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Title
Verfahren zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen mehrlagigen Leiterstrukturen
Date Issued
2001
Author(s)
Scheel, W.
Hannemann, M.
Schmidt, R.
Patent No
1999-19922468
Language
Deutsch
Institute
IZM
Link
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19922468A
Patenprio
DE 1999-19922468 A: 19990518
