Verfahren, Vorrichtung und Verwendung der Vorrichtung zur zerstörungsfreien quantitativen Bestimmung von Schichtdicken eines Schichten aufweisenden Körpers

Die Erfindung betrift ein Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicken eines Schichten aufweisenden Prüfkörpers (4), mit einer äußeren Deckschicht (1) und einer im Prüfkörper angeordneten Basisschicht (2), wobei die Deckschicht und die Basisschicht unterschiedliche magnetische Eigenschaften und Stoffzusammensetzung aufweisen mit den Verfahrensschritten: - Erzeugen eines magnetischen Wechselfeldes; - Messen der magnetischen Feldstärke; - Messen des Oberwellengehalts des Zeitsignals der tangentialen Magnetfeldstärke in Abhängigkeit von der magnetischen Feldstärke; - Messen der Überlagerungspermeabilität in Abhängigkeit von der magnetischen Feldstärke und - Bestimmen der Schichtdicke zumindest einer der Schichten durch ein statistisches Analyseverfahren, auf Basis der gemessenen Werte des Oberwellengehalts des Zeitsignals der tangentialen Magnetfeldstärke und der Überlagerungspermeabilität. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung geeignet zur Durchführung des Verfahrens und die Verwendung der Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicken eines Prüfkörpers (4), wobei zumindest eine der Schichten (1), (2), (3) des Prüfkörpers (4), insbesondere die Deckschicht (1) paramagnetisch oder diamagnetisch ist.

The method involves generating an alternating magnetic field in the test specimen (4). The magnetic field strength is measured at or near the surface of the specimen. The values of the harmonic content of the time signal of the tangential magnetic field strength are measured. The values of the incremental permeability are measured. The thickness of the outer layer (1) is determined with the measured pairs of values of the harmonic content of the time signal of the tangential magnetic field strength and the incremental permeability. An independent claim is included for a device for determining layer thickness of two layers of test object.