Einkristallines Aluminiumnitrid-Substrat und Verfahren zur Trennung eines Aluminiumnitrid-Substrats von einem epitaktisch abgeschiedenen Bauelement

Die Erfindung betrifft ein einkristallines Aluminiumnitrid-Substrat mit einer Oberfläche und einem auf der Oberfläche epitaktisch abgeschiedenen Bauelement aus mindestens einer Schicht, wobei das Aluminiumnitrid-Substrat einen undotierten und einen dotierten Bereich, der an der Oberfläche des Substrats angeordnet ist, aufweist. Im dotierten Bereich kann durch Bestrahlung eine Gitterschädigung hervorgerufen werden, durch die das epitaktisch abgeschiedene Bauelement vom Aluminiumnitrid-Substrat abgelöst werden kann. Ebenso betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Trennung von einem Aluminiumnitrid-Substrat und einem darauf epitaktisch abgeschiedenen Bauelement aus mindestens einer Schicht.