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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Verfahren zur Herstellung einzelner Mikrolinsen oder eines Mikrolinsenarrays

Other Title
Production of microlenses or microlens arrays made from glassy material comprises preparing a first substrate having a surface with recesses, covering the first substrate with a second substrate, joining together in a vacuum, and tempering.
Abstract
Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung einzelner Mikrolinsen oder eines Mikrolinsenarrays aus glasartigem Material, bei dem ein erstes Substrat mit einer Vertiefungen aufweisenden Oberflaeche bereitgestellt wird, ueber die ein aus dem glasartigen Material bestehendes zweites Substrat zumindest teilweise ueberlappend in Deckung gebracht und unter Vakuumbedingungen mit dieser verbunden wird, und bei dem der Substratverbund derart getempert wird, dass das zweite Substrat erweicht und in die Vertiefungen des ersten Substrats hineinfliesst, wodurch die dem ersten Substrat abgewandte Seite des zweiten Substrats zur Ausbildung wenigstens einer Mikrolinsenoberflaeche strukturiert wird. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass zur Ausbildung der wenigstens einen Mikrolinsenoberflaeche das erweichte glasartige Material des zweiten Substrates in wenigstens zwei Vertiefungen des ersten Substrates hineinfliesst, deren Form, Groesse und Anordnung die Kruemmung der sich ausbildenden Mikrolinsenoberflaeche bestimmen.

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DE 10313889 B UPAB: 20040915 NOVELTY - Production of single microlenses or microlens arrays made from glassy material comprises preparing a first substrate having a surface with recesses, covering the first substrate with a second substrate, joining together in a vacuum, tempering the substrate composite so that the second substrate reaches into the recesses of the first substrate. The side of the second substrate facing away from the first substrate is structured to form a microlens surface. The glassy material of the second substrate flows into the recesses of the first substrate to form a microlens surface. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for an alternative process for the production of single microlenses or microlens arrays made from glassy material. USE - Used as a primary mold or master mold for producing replication molds (claimed). ADVANTAGE - The lens or lens array can be economically produced.
Inventor(s)
Quenzer, H.J.
Merz, P.
Bott, U.
Link to:
Espacenet
Patent Number
2003-10313889
Publication Date
2004
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT  
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