Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Hohlkathoden-Bogenentladung

(A1) Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Betreiben einer Bogenentladung zwischen einer Anode (15) und einer rohrfoermigen Kathode (12), durch die ein Arbeitsgas in eine Vakuumkammer geleitet wird, wobei zumindest ausgangsseitig um die Kathode (12) ein Magnetfeld (17) erzeugt wird, welches Feldlinienbereiche aufweist, die parallel zur Rohrachse der Kathode (12) verlaufen, und wobei mittels einer Stromversorgungseinrichtung (18) eine elektrische Spannung zwischen Kathode (12) und Anode (15) erzeugt wird, wobei mittels der Stromversorgungseinrichtung (18) sowohl die Brennspannung fuer die Bogenentladung als auch mindestens ein Spannungspuls von mindestens 500 V zum Zuenden oder Aufrechterhalten der Bogenentladung erzeugt werden.

EP 2164309 A1 UPAB: 20100331 NOVELTY - The method involves guiding a working gas into a vacuum chamber, and generating a magnetic field (17) around a hollow cathode (12) at an output side, where the magnetic field comprises a flux line region that runs parallel to a pipe axis. An electrical voltage is produced between the cathode and an anode (15) by a power supply device (18). A burning voltage for an arc discharge and a voltage pulse of 500 volts is generated by the power supply device for igniting or maintaining the arc discharge. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a device for operating an arc discharge. USE - Method for operating an arc discharge between an anode and a tube shaped cathode in a vacuum chamber for producing plasma for plasma pre-treatment of a tool. ADVANTAGE - The method securely and stably ignites and maintains the arc discharge even with small working pressure within a hollow cathode pipe, and avoids a need for a heating coil for heating a hollow cathode.