Hartstoffbeschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik und Verfahren zur Herstellung derartiger Körper

Die Erfindung betrifft hartstoffbeschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik sowie ein Verfahren zur Herstellung derartiger Körper. Die erfindungsgemäßen Hartstoffschichten können beispielsweise als Verschleißschutzschichten für Schneidwerkzeuge, als Schutzschichten für Turbinenschaufeln oder als Diffusionsbarrieren in der Mikroelektronik eingesetzt werden.Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Hartstoffschichten bereitzustellen, die eine hohen Härte, Oxidationsbeständigkeit und exzellente Verschleißfestigkeit aufweisen. Eingeschlossen in diese Aufgabe ist die Bereitstellung eines kostengünstigen Verfahrens zur Erzeugung derartiger Hartstoffschichten.Gelöst wird die Aufgabe durch hartstoffbeschichtete Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet oder Keramik und ein Verfahren zur Herstellung derartiger Körper, die mittels eines thermischen CVD-Verfahrens ohne Plasmaanregung mit einem ein- oder mehrlagigen Schichtsystem beschichtet sind, wobei das ein- oder mehrlagige Schichtsystem mindestens eine Nanokompositschicht mit einer ersten nanokristallinen Phase aus kubischem Titanoxykarbonitrid und einer zweiten amorphen Phase aus Siliziumoxykarbonitrid oder Siliziumoxykarbid aufweist.

The invention relates to articles consisting of metal, hard metal, cermet or ceramic and coated with a hard material, and to a method for producing such articles. The hard material layers according to the invention can be used, for example, as anti-wear layers for cutting tools, as protective layers for turbine blades or as diffusion barriers in microelectronics. The problem addressed by the invention is that of providing hard material layers which have a high level of hardness, oxidation resistance and excellent wear resistance. This problem includes providing a cost-effective method for producing such hard material layers. The problem is solved by articles consisting of metal, hard metal, cermet or ceramic and coated with hard material and by a method for producing such articles, which are coated with a single or multiple layer system using a thermal CVD method without plasma excitation, wherein the single or multiple layer system has at least one nanocomposite layer having a first, nanocrystalline phase consisting of cubic titanium oxycarbonitride and a second, amorphous phase consisting of silicon oxycarbonitride or silicon oxycarbide.