Mikromechanische Pumpe

Vorgeschlagen wird eine mikromechanische Pumpe, mit einem peristaltischen Aktuator zur Foerderung und/oder Verwaltung definierter Fluessigkeitsmengen. Eine bevorzugt ringfoermige Einkerbung mit beliebigem Querschnitt in einer Substratoberflaeche wird von einer Membran (2) ueberspannt. Erfolgt der Verbindungsprozess von Substrat (1) und Membran unter Normaldruck, wird ein bestimmtes Luftvolumen (17) in der Kavitaet eingeschlossen. Der Pumpenaktuator wird also durch einen angeschlossenen Hohlraum beliebiger Form zwischen einer beweglichen Membran und einem festen Untergrund gebildet. Die Membran ist elektrisch leitfaehig beschichtet. Auf dem Boden der Kavitaet sind mehrere, voneinander isolierte Elektroden (3, 4) vergraben, welche zumindest teilweise unabhaengig voneinander ansteuerbar sind. Wird eine elektrische Spannung zwischen Membran und einer oder mehreren der Elektroden angelegt, zieht es die Membran an diesen Stellen nach unten (6). Da das Volumen unterhalb der Membran abgeschlossen ist, fuehrt die verdraengte Luft zu einem Ausbuckeln der Membran an einer anderen Stelle nach oben. Steuert man die Elektroden in einer geeigneten Weise an, kann der Buckel peristaltisch entlang der Kavitaet bewegt werden. Durch Aufbonden eines Deckels (9) auf die Membran erhaelt man eine Pumpe. Das zu foerdernde Fluid (12) befindet sich zwischen Membran und Deckel. Wird zwischen ausgewaehlten Elektroden und der Membran eine elektrische Spannung angelegt, wird die Membran in diesem Bereich auf den ...

WO 200070224 A UPAB: 20010126 NOVELTY - A micropump with peristaltic action for liquids having volumes within microliter ranges, which comprises a membrane separating pumping and pumped media within a groove with an endless configuration, is new. DETAILED DESCRIPTION - The bidirectional micropump with peristaltic action for delivering or holding liquids having volumes within microliter ranges is characterized by: (a) the groove in the substrate (1) has an endless, closed configuration; (b) in the region of nonactivated electrodes (4), the membrane (2) is pressed against the lid (9), while in the region of activated electrodes (3) it is pulled against such electrodes; (c) as a result, a gap is formed either between the lid and the membrane, or between the substrate and the membrane; (d) in the latter case the resultant hollow space is filled with a pumping medium (17). An INDEPENDENT CLAIM are also included for the following: (1) a method for operating the micropump; and (2) a method for producing the micropumps. USE - For delivering or holding liquids having volumes in the microliter range.