Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung eines kohärenten Lichtfelds in Amplitude und Phase

Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Charakterisierung eines kohärenten Lichtfelds (1) in Amplitude und Phase mit den folgenden Schritten beschrieben:BL Vorsehen eines Objekts (10) mit bekannter Transmissionsfunktion T(x,y) für das Lichtfeld (1) in Amplitude und Phase;BL Bestrahlen des Objekts (10) mit dem zu charakterisierenden kohärenten Lichtfeld (1) in einer Objektebene (11), in der das Objekt (10) angeordnet ist;BL Erfassen einer Intensitätsverteilung I'(x,y) des Beugungsbildes (22) des Lichtfelds (1) räumlich hinter dem bestrahlten Objekt (10) in einer Detektorebene (21) mittels eines Flächendetektors (20);BL Rekonstruieren der Lichtwellenfunktion u(x,y) nach deren Durchgang durch das Objekt (10) durch iteratives Ermitteln von Phase und Amplitude der Lichtwelle aus der erfassten Intensitätsverteilung I'(x,y);BL Berechnen der Lichtwelle (1) vor dem Durchgang durch das Objekt durch Anwenden der bekannten Transmissionsfunktion T(x,y) auf die rekonstruierte Lichtwellenfunktion u(x,y);Dabei ist vorgesehen, dass als Objekt (10) ein Objekt mit einem Strukturbereich (12) verwendet wird, wobei der Strukturbereich (12) des Objekts (10) durch eine Transmissionsmaske definiert wird, die nur stark absorbierende Bereiche (13) mit einer Transmission T ≈ 0 und nicht absorbierende Bereiche (14) mit einer Transmission von T ≈ 1 vorsieht.