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Patent
Title
Ladevorrichtung fuer einen Ladekondensator, insbesondere zur Speisung von Entladungslampen
Other Title
Charging capacitor charging device for operation of discharge lamp, has controller calculating switching time of switch for observation of reference values in real time, and controlling switch to calculated switching time for switching
Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum schnellen Aufladen eines Ladekondensators, insbesondere zur Speisung von Entladungslampen. Die Vorrichtung weist eine Gleichspannungsquelle sowie einen Resonanzkreis auf, der zumindest eine Induktivitaet und den Ladekondensator umfasst, an dem eine Ausgangsspannung ueber einen Ausgang der Vorrichtung abgreifbar ist. Ein Pol der Gleichspannungsquelle ist ueber einen Schalter mit dem Resonanzkreis verbunden. Im Resonanzkreis ist eine Freilaufdiode zur Stromfuehrung bei geoeffnetem Schalter parallel zur Gleichspannungsquelle angeordnet. Die Vorrichtung zeichnet sich durch eine Steuerung aus, die in Abhaengigkeit von Eingangsgroessen und ein oder mehreren Sollgroessen Schaltzeiten des Schalters zur Einhaltung der Sollgroesse(n) in Echtzeit berechnet und den Schalter zu den berechneten Schaltzeiten zum Schalten ansteuert. Die vorgeschlagene Vorrichtung ermoeglicht ein schnelles und sowohl zeitlich als auch hinsichtlich der Amplitude praezises Laden eines Lampenkondensators fuer den Betrieb einer Entladungslampe und laesst sich kostenguenstig umsetzen.
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DE 102005045569 A1 UPAB: 20070313 NOVELTY - The device has a direct current voltage source for supplying an input voltage, and a resonance circuit including an inductor and a charge capacitor (6). An output voltage is tapped at the capacitor over an output of the device, and a pole of the voltage source is connected with the resonance circuit over a switch (2). A digital controller (20) calculates switching time of the switch for observation of reference values in real time depending on inputs values and the reference values, and controls the switch to the calculated switching time for switching. USE - Used for charging of a charging capacitor for operation of a discharge lamp for extreme ultra violet (EUV) radiation or switch X-ray radiation (all claimed). ADVANTAGE - The controller calculates the switching time of the switch for observation of the reference values in real time, and controls the switch to the calculated switching time for the switching, thus ensuring that the preset voltage or energy is deposited in the charging capacitor, while the discharging of the capacitor takes places in a smaller time interval. The device thus controls the voltage or energy in the capacitor with high repetition frequency. The device makes possible a faster, temporal, and accurate charging of the charging capacitor.
Inventor(s)
Klein, Jürgen
Seiwert, S.
Probst, S.
Loef, C.
Neff, W.
Link to:
Patent Number
102005024956
Publication Date
2006
Language
German