Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer elektrischen Entladevorrichtung

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betreiben einer elektrischen Entladevorrichtung (12) mit mindestens einer ersten Elektrode (14) und mindestens einer davon beabstandeten zweiten Elektrode (16), welche mit einer Spannungsversorgung (18) elektrisch verbunden werden und beim Zuenden einer ersten Gasentladung (22) zwischen den Elektroden (14, 16) einen elektrischen Strom (I) uebertragen, wodurch ein Plasma (24) in einem Arbeitsgas (26) erzeugt wird, das Strahlung (28) insbesondere extrem ultraviolette und/oder weiche Roentgenstrahlung aussendet, die ueber einen Raumwinkel (30) in einen Raum (32) ausserhalb von den Elektroden (14, 16) geleitet wird. Es wird zur Vermeidung von Erosion an den Elektroden (14, 16) vorgeschlagen, dass die Bildung eines Sekundaerplasmas (34) in dem Raum (32) unterdrueckt wird.

DE1004058500 A UPAB: 20060714 NOVELTY - Discharge appliance (12) comprises first (14) and second electrode (16) connectable to voltage supply (18). On ignition of first gas discharge (22) between electrodes, they transmit current for generating plasma (24) in working gas (26), transmitting extreme UV and/or X-ray radiation (20). Radiation is conducted over space angle (30) into space (32) outside electrodes. Generation of secondary plasma in given space is suppressed. Preferably, current flow (36) between at least one electrode and voltage supply is limited by electric component (33). DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are included for equipment to operate discharge appliance. USE - Simple design for improved operation. ADVANTAGE - Simple design for improved operation.