Schleuse fuer den Materialtransport zwischen Reinraeumen

Bei einer Vorrichtung mit mindestens zwei mit ihren Stirnseiten (2, 2') aneinandergrenzenden Reinraeumen (1, 1') fuer die Behandlung von Substraten (4), die zum Transport der Substrate (4) ueber in den Stirnseiten (2, 2') vorgesehene Schleusenoeffnungen (3, 3') miteinander in Verbindung stehen, wobei in mindestens einem der Reinraeume (1, 1') gegenueber dessen Aussenbereich (5) Ueberdruck herrscht, wird zur Vermeidung einer Verunreinigung, zur zeitsparenden Aenderung der Anordnung, zur einfachen Reparatur oder Wartung vorgeschlagen, dass die beiden aneinander angrenzenden Reinraeume (1, 1') durch einen spaltartigen freien Zwischenraum (7) zwischen ihren angrenzenden Stirnseiten (2, 2') mechanisch voneinander getrennt angeordnet sind, dass die miteinander korrespondierenden Schleusenoeffnungen (3, 3') in den Stirnseiten (2, 2') von mindestens einem Schleusenrahmen (6, 6') umschlossen sind, durch den eine Drosselung der Ueberdruckgasstroemung Schleusenoeffnungen (3, 3') -Aussenbereich (5 ) erfolgt.