Frequenzselektiver Schwingungssensor

Die Erfindung bezieht sich auf einen frequenzselektiven Schwingungssensor mit einem Schwingungsaufnehmer (1), der auf einem Siliziumsubstrat (2) aufgebaut ist und Siliziumzungen (9) als schwingungsempfindliche Strukturen mit gestaffelten Eigenfrequenzen aufweist. Die Siliziumzungen (9) werden aus dem Siliziumsubstrat mit Hilfe einer geeigneten Aetztechnik, d. h. anisotropes Aetzen, anisotropes und elektrochemisches Aetzen, isotropes Aetzen auf Zeit oder auch eine Kombination dieser Aetztechniken, herausgearbeitet. Die Ausgangssignale werden ueber Piezowiderstaende (6) abgenommen und in einer vorzugsweise integrierten Vorverstaerkerschaltung (11a) vorverstaerkt. Um derartige Schwingungssensoren flexibel einsetzen zu koennen und eine kostenguenstige Herstellung zu erreichen, wird gemaess der Erfindung vorgeschlagen, auf dem Siliziumsubstrat (2) noch einen Messumformer (11b) vorzusehen, vorzugsweise wiederum zu integrieren. Dieser Messumformer kann ein Zeitglied (23), einen Schwellwertsch alter (25) und/oder ein Zeit-Integralglied (21) sowie ferner gegebenenfalls ein Ausgangsrelais (22, 24) aufweisen. Der Schwingungsaufnehmer (1) ist ueber eine Schnittstelle (14, 19) mit einer Auswerteschaltung (15) verbunden, die eine Multiplex-Messschaltung (26, 27, 28) aufweist. Mit dieser Multiplex-Messschaltung koennen die von den Zungen (9) hervorgerufenen Spannungen einzeln abgefragt, nach Maximal- und Spitzenwerten sortiert und angezeigt werden. Der Schwingungssensor dient bevorzugt zur ...