Vorrichtung zur Partikelanalyse

Bei einer Vorrichtung zur Partikelanalyse, die eine Bildaufnahmeeinheit (118) zum Aufnehmen von Analysebildern eines Untersuchungsbereichs eines Gegenstands (103) und eine Datenverarbeitungseinheit (124) zum Verarbeiten von dem Untersuchungsbereich zugeordneten Bilddaten aufweist, ist ein Aktuator (127) vorgesehen, mit dem an dem Gegenstand (103) angeordnete lose Partikel (109) zu einer Bewegung oder eine Verformung mit Verlagerung einer Partikelberandung anregbar sind, die über eine Analyse der Bilddaten erkennbar ist. Dadurch lassen sich in Analysedaten mit einem verhältnismäßig geringen apparativen Aufwand an einem Gegenstand (103) beispielsweise anhaftende Partikel (109) analysieren.