Optische Vorrichtung in gestapelter Bauweise und Verfahren zur Herstellung derselben

(A1) Eine optische Vorrichtung umfasst ein erstes Substrat, das ein optisches Funktionselement aufweist, und ein zweites Substrat, das ein bewegliches mikromechanisches Funktionselement aufweist, wobei das erste Substrat und das zweite Substrat in gestapelter Weise verbunden sind, so dass ein Strahlengang vorhanden ist, der zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat gefaltet ist, wobei das bewegliche mikromechanische Funktionselement und das optische Funktionselement in dem Strahlengang angeordnet sind. Des Weiteren umfasst ein Verfahren zur Herstellung einer optischen Vorrichtung die Herstellung eines ersten Substrats, das ein optisches Funktionselement aufweist, und die Herstellung eines zweiten Substrats, das ein bewegliches mikromechanisches Funktionselement aufweist, sowie das Verbinden des ersten Substrats und des zweiten Substrats, so dass ein Strahlengang vorhanden ist, der zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat gefaltet ist, wobei das bewegliche mikromechanische Funktionselement und das optische Funktionselement in dem Strahlengang angeordnet sind.