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Patente
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolettstrahlung und weicher Roentgenstrahlung aus einer Gasentladung
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Patent
Title
Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolettstrahlung und weicher Roentgenstrahlung aus einer Gasentladung
Inventor(s)
Lebert, R.
Bergmann, Klaus
Schriever, G.
Neff, W.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19753696A
Patent Number
1997-19753696
Publication Date
2002
Language
German
Fraunhofer-Institut für Lasertechnik ILT