Fluidverteilvorrichtung für ein Poliersystem

Die Erfindung betrifft eine Fluidverteilvorrichtung (100, 100') für ein Poliersystem, ein Poliersystem und ein Verfahren. Insbesondere betrifft die Erfindung eine Fluidverteilvorrichtung (100, 100') für ein Poliersystem, insbesondere zum automatisierten Polieren von Werkstücken, die sich von einem Kopplungsende (102) zu einem Auftragsende (104) erstreckt, umfassend eine an das Kopplungsende (102) angrenzende Kopplungsschnittstelle (106) zur Kopplung an einen Antrieb, insbesondere an eine Maschinenspindel, eine Fluidkammer (112) mit einem proximalen Eintritt und einem distalen Austritt zur Bevorratung eines Polierfluides, ein Evakuierungselement (116) zum Evakuieren des Polierfluides aus der Fluidkammer (112) durch den distalen Austritt, und eine mit dem distalen Austritt fluidisch gekoppelte und an das Auftragsende angrenzende Verteileinheit (120, 120') zum Verteilen des Polierfluides auf einer Werkstückoberfläche (1).

The invention relates to a fluid distribution device (100, 100') for a polishing system, a polishing system and a method. More particularly, the invention relates to a fluid distribution device (100, 100') for a polishing system, in particular for the automated polishing of workpieces, which device extends from a coupling end (102) to an application end (104), comprising: a coupling interface (106), which is adjacent to the coupling end (102), for coupling to a drive, particularly to a machine spindle; a fluid chamber (112) having a proximal inlet and a distal outlet for providing a polishing fluid; an evacuation element (116) for evacuating the polishing fluid from the fluid chamber (112) through the distal outlet; and a distribution unit (120, 120'), which is fluidically coupled to the distal outlet and is adjacent to the application end, for distributing the polishing fluid on a workpiece surface (1).