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Patente
Verfahren zum kontaktlosen Test von Chips sowie Vorrichtung zur Durchfuehrung dieses Verfahrens
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Patent
Title
Verfahren zum kontaktlosen Test von Chips sowie Vorrichtung zur Durchfuehrung dieses Verfahrens
Inventor(s)
Iberl, F.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=10015484A
Patent Number
2000-10015484
Publication Date
2002
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM
