Faseroptischer Wegsensor

Ein faseroptischer Wegsensor zur Messung der Bewegung eines Spiegels (25) verfuegt ueber eine Uebertragungsfaser (9), die in einem 3-Wege-Koppler (11) in eine Referenzfaser (12) und in eine Sensorfaser (13) verzweigt ist. Die Laenge der Sensorfaser (13) weicht wesentlich von der Laenge der Referenzfaser (12) ab. Die Intensitaet von in die Uebertragungsfaser (9) einspeisbarem Licht wird in dem 3-Wege-Koppler (11) auf die Referenzfaser (12) und auf die Sensorfaser (13) aufgeteilt. Eine Sensorastlinse (39) zur Abbildung eines parallelen Sensorlichtbuendels (42) auf die Spiegel (25) ist normal zu der optischen Achse (48) der Sensorfaser (13) angeordnet. Eine normal zu der optischen Achse (33) der Referenzfaser (12) angeordnete Referenzastlinse (19) erzeugt ein paralleles Referenzlichtbuendel (34) auf dem Spiegel (25), der in Laengsrichtung der Achse (33) bewegbar ist. Das Sensorlichtbuendel (42) beaufschlagt einen zweiten Spiegelbereich (43). Die optische Achse (48) des Sensorlichtbuendels (42) steht in einem Winkel (46) von wenigen Grad zu der Normalen auf der von dem Sensorlichtbuendel (42) beleuchteten zweiten Spiegelbereich (43).