Elektrostatisch durchstimmbare Kapazitaet und Verfahren zum Herstellen derselben

Eine elektrostatisch durchstimmbare Kapazitaet umfasst eine nicht-bewegliche Elektrode und eine bewegliche Elektrode. Die nicht-bewegliche Elektrode ist in einer Vertiefung einer ersten Hauptoberflaeche eines Substrats angeordnet. Die bewegliche Elektrode ist in einer Funktionsschicht, die mit dem ersten Substrat verbunden ist, in einem Bereich gebildet, der der Vertiefung in dem Substrat im wesentlichen gegenueberliegt. Die nicht-bewegliche Elektrode ist derart in der Vertiefung des Substrats angeordnet, dass die nicht-bewegliche Elektrode von der Funktionsschicht beabstandet ist.

EP 1024508 A UPAB: 20001023 NOVELTY - The capacitor has a stationary electrode (102) in a first surface of a substrate, and an opposing movable electrode (112) formed in a functional layer (110) connected to the substrate. The stationary electrode is arranged in a recess (104) in the substrate so that it is spaced apart from the functional layer. The functional layer has a thickness dependent on the stiffness of the moveable electrode or a flexural element carrying the moveable electrode. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is included for a method of manufacturing an electrostatically tunable capacitor. USE - Steplessly tunable micro-mechanical capacitor for voltage controlled oscillator used in high frequency or microwave circuits. ADVANTAGE - Prevents the moveable electrode sticking to substrate.