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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Verfahren zur Herstellung eines Reflektorelements und Reflektorelement

Other Title
Method for producing a reflector element and reflector element
Abstract
Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Reflektorelements angegeben, bei dem eine Schichtenfolge abgeschieden wird, die mindestens eine Spiegelschicht (5, 9) und mindestens ein reaktives Multischichtsystem (3) umfasst. Durch Zünden des reaktiven Multischichtsystems (3) wird ein Wärmeeintrag in die Schichtenfolge bewirkt. Weiterhin wird ein auf diese Weise herstellbares Reflektorelement angegeben.
Inventor(s)
Schürmann, Mark
Schwinde, Stefan  
Müller, Robert  
Kaiser, Norbert  
Link to:
Espacenet
Patent Number
102015103494
Publication Date
2016
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF  
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