Einrichtung zur zerstoerungsfreien Bilderzeugung und ortsselektiven Oberflaechenbearbeitung in fokussierten Ionenstrahlsystemen

Bei einer Einrichtung zur zerstoerungsfreien Bilderzeugung und ortsselektiver Oberflaechenbearbeitung in fokussierten Ionenstrahlsystemen, mit einer Ionenquelle, die mehrere Arten von Atomen, mindestens jedoch ein leichtes und ein schweres, enthaelt, die je nach Verwendungszweck mit Hilfe eines Massenseparators einzeln verwendet werden, wird mit der mehratomigen Ionenquelle und deren leichtem Atom ein fokussierter Ionenstrahl erzeugt, der ueber die Oberflaeche des Prueflings derart gefuehrt wird, dass an jeder Stelle der Oberflaeche ein Sekundaerelektronensignal erzeugt wird, welches als Funktion der Strahlposition registriert wird und ein Bild der Oberflaeche ergibt, wodurch eine eindeutige Bildpunktzuordnung zur Oberflaeche des Prueflings gewaehrleistet ist, so dass die gleiche Strahlposition und damit die gleiche ionenoptische Anordnung selektiv fuer das fuer die Bearbeitung der Oberflaeche benoetigte schwere Atom der Ionenquelle verwendet werden kann.