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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Mikromechanische Struktur, mikromechanisches System und Verfahren zum Bereitstellen einer mikromechanischen Struktur

Abstract
Eine mikromechanische Vorrichtung umfasst ein Substrat, ein bewegliches Element, das in einem unausgelenkten Zustand in einer Referenzebene angeordnet ist, eine Getriebestruktur mit einer ersten Getriebeseite, die mit dem Substrat gekoppelt ist, und mit einer zweiten Getriebeseite, die mit dem beweglichen Element gekoppelt ist, und einen Aktuator, der ausgebildet ist, um eine Kraft entlang einer Kraftrichtung parallel zu der Referenzebene bereitzustellen und an die erste Getriebeseite anzulegen. Die Getriebestruktur ist ausgebildet, um die Kraft entlang der Kraftrichtung in eine Bewegung des beweglichen Elements aus der Referenzebene heraus zu überführen.
Inventor(s)
Drabe, Christian  
Dreyhaupt, André  
Link to:
Espacenet
Patent Number
102019202656
Publication Date
2020
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS  
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