Mikromechanischer Inertialsensor zur Messung von Drehraten

(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft einen Drehratensensor zur Detektion einer Drehung °, um die der Sensor gedreht wird, wobei der Sensor ein Substrat und eine Antriebs- und Detektionsanordnung aufweist, die sich im Wesentlichen flaechig in einer x-y-Ebene oberhalb der Substratoberflaeche befindet, wobei die Antriebs- und Detektionsanordnung eine Antriebsmasse (4) und eine Detektionsmasse (3) aufweist, die in unterschiedlichen Abstaenden von einem Zentrum (Z) der Detektionsanordnung symmetrisch um dieses Zentrum herum angeordnet sind und deren Schwingungsmoden teilweise aufeinander uebertragen werden koennen und teilweise entkoppelt sind, wobei die Drehung ° dadurch detektiert wird, dass eine Verkippung der Detektionsmasse aus der Flaechenebene der Antriebs- und Detektionsanordnung heraus detektiert wird. Der Sensor ist dadurch gekennzeichnet, dass diejenige der beiden Massen (3, 4), die eine groesseren Abstand zu dem genannten Zentrum aufweist, unter Einwirkung von Corioliskraft aus der genannten Flaechenebene heraus verkippen kann und mit dem Substrat ueber ein Verbindungsmittel (7) derart verbunden ist, dass die Rueckstellung der genannten Verkippung durch das Verbindungsmittel unterstuetzt wird. Durch das erfindungsgemaesse Verbindungsmittel wird die Robustheit des Sensors gegenueber parasitaerer Umgebungseinwirkung verbessert.

DE 102007017209 A1 UPAB: 20081023 NOVELTY - The sensor has a drive-and-detection arrangement located in a x-y plane above a substrate surface. The arrangement has a drive mass (4) and a detection mass (3), which are symmetrically arranged around a center of the arrangement in different distances from a center. A tilting of the mass (3) is detected from a surface level of the arrangement. The masses have large distance to the center, and are tilted from the surface level under Coriolis effect and are connected with a substrate by a connecting device (7) such that resetting of the tilting is supported by the device (7). USE - Rotational speed sensor for measuring rotational speed of a body. Uses include but are not limited to automotive engineering, aircraft construction, military application, robotics, biomedicine and life science. ADVANTAGE - The sensor effectively maintains sensitivity, improves robustness in relation to parasitic environment effect, and provides a good balance between parameters interacting with each other.