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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Optischer Interferenzfilter, sowie Verfahren und Vorrichtung zu seiner Herstellung
 
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Patent
Title

Optischer Interferenzfilter, sowie Verfahren und Vorrichtung zu seiner Herstellung

Abstract
Die Erfindung betrifft einen optischen Interferenzfilter (1) mit einem flächigen Substrat (10) und einer Mehrzahl funktionaler Schichten (2), welche auf das Substrat (10) aufgebracht sind, so dass der Interferenzfilter (1) eine Mehrzahl optischer Bandpassfilter mit jeweils einer Zentralwellenlänge (λ) aufweist, wobei die Zentralwellenlänge (λ) in unterschiedlichen Teilflächen des Interferenzfilters (1) unterschiedlich ist, und sich die Zentralwellenlänge (λ) von einer ersten Kante (101) des Substrates (10) zu einer gegenüberliegenden zweiten Kante (102) des Substrates (10) nichtlinear ändert. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung (4) zur Herstellung eines solchen optischen Interferenzfilters (1).
Inventor(s)
Vergöhl, Michael  
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Bruns, Stefan  
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Pflug, Andreas  
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
Stute, Andreas
Keim, Corneli
Haiml, Markus
Link to Espacenet
https://worldwide-i.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=EPODOC&II=0&ND=3&adjacent=true&locale=en_EP&FT=D&date=20240208&CC=DE&NR=102022207959A1&KC=A1
Patent Number
DE102022207959 A1
Publication Date
February 8, 2024
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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