Verfahren zum Abtragen von sprädhartem Material

Bei einem Verfahren zum Abtragen von sprödhartem Material eines Werkstücks mittels gepulster Laserstrahlung wird eine elliptische Strahlform des Querschnitts der Laserstrahlung in einer Ebene senkrecht zu der Strahlungsachse eingestellt. Im Fokus der Laserstrahlung werden die große Halbachse der Ellipse in Vorschubrichtung und die kleine Halbachse senkrecht dazu ausgerichtet. Der Strahlradius in Richtung der kleinen Halbachse wird am Eintritt der Abtragsvertiefung so eingestellt, dass der Flankenwinkel w, der lokale Winkel zwischen der Oberflächennormalen auf der Flanke der Abtragsvertiefung und der Oberflächennormalen auf der nicht abgetragenen Oberfläche des Materials, nahezu 90 Winkelgrade erreicht und die erreichbare Abtragstiefe mindestens um einen Faktor 5 größer wird als für einen größeren Strahlradius, bei dem der Flankenwinkel kleiner als ein materialspezifischer Grenzwinkel ist, bei dem kein Abtrag mehr stattfindet. Der Strahlradius der großen Halbachse wird so eingestellt, dass die Rayleighlänge mindestens so groß ist wie die halbe Abtragstiefe.