Ermittlung einer Wellenfrontsteigung eines Lichts basierend auf winkelabhängiger Transmission

Die Offenbarung betrifft ein Verfahren zum Ermitteln einer Wellenfrontsteigung, mit einem (a1) ersten Bestrahlen einer Transmissionsfilter-Einheit (4) mit einem Licht (2a, 2b), mit einem ersten Winkel (α) zwischen Licht (2a, 2b) und einer Haupt-Transmissionsrichtung (4a*, 4b*) der Transmissionsfilter-Einheit (4) für das Licht (2a, 2b); (a2) ersten Messen einer ersten Intensität I1 des durch die Transmissionsfilter-Einheit (4) transmittierten Lichtes (2a, 2b); (b1) zweiten Bestrahlen der Transmissionsfilter-Einheit (4) mit dem Licht (2a, 2b), mit einem zweiten Winkel (-α) zwischen Licht (2a, 2b) und der Haupt-Transmissionsrichtung (4a*, 4b*) der Transmissionsfilter-Einheit (1) für das Licht (2a, 2b); (b2) zweiten Messen einer zweiten Intensität I2 des durch die Transmissionsfilter-Einheit (4) transmittierten Lichtes (2a, 2b); wobei die beiden Winkel (α, - α) zwischen Licht (2a, 2b) und Haupt-Transmissionsrichtung (4a*, 4b*) in einer gemeinsamen Messebene liegen und den gleichen Winkelbetrag, jedoch unterschiedliche Vorzeichen haben; mit einem (c) Berechnen eines räumlichen Kontrastes K aus einer Differenz von erster Intensität I1 und zweiter Intensität I2 und einer Summe von erster Intensität I1 und zweiter Intensität 12; und (d) Ermitteln einer lokalen Wellenfrontsteigung S aus dem berechneten räumlichen Kontrast K und einem in einem Kalibrierverfahren ermitteltem Kalibrierfaktor c der Transmissionsfilter-Einheit (4), um eine verbesserte Ermittlung von Wellenfrontsteigungen zu realisieren.