Verfahren zur Herstellung einer porösen Siliziumoxidschicht

Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer porösen Siliziumoxidschicht (2A) beschrieben, umfassend die Schritte- A) Abscheiden einer Siliziumoxidschicht (2),- B) Aufbringen einer wasserunlöslichen und wasserdurchlässigen Schicht (3) auf die Siliziumoxidschicht (2), und- C) Erzeugen von Poren in der Siliziumoxidschicht (2) mittels einer Temperaturbehandlung in einem Wasserbad.