Hochvolt-Kondensator zur Integration in elektrische Leistungsmodule sowie Verfahren zur Herstellung

Ein Hochvolt-Kondensator zur Integration in elektrische Leistungsmodule weist eine Siliziumschicht auf, in die auf einer Vorderseite eine Anordnung von Vertiefungen eingebracht ist. Die Vorderseite mit den Vertiefungen ist mit einer dielektrischen Schicht oder Schichtfolge beschichtet, wobei die Vertiefungen mit einem elektrisch leitfähigen Material aufgefüllt sind. Die Siliziumschicht trägt auf der Vorderseite und der Rückseite jeweils eine Kontaktmetallisierung zur elektrischen Kontaktierung des Kondensators. Zwischen der Siliziumschicht und der dielektrischen Schicht oder Schichtfolge ist eine Schicht aus thermischem SiOausgebildet. Die dielektrische Schicht oder Schichtfolge weist eine Schichtdicke von > 1000nm auf und ist aus einem ferroelektrischen oder antiferroelektrischen Material gebildet. Der vorgeschlagene Hochvolt-Kondensator weist eine hohe Integrationsdichte bei hoher Kapazität und guter Entwärmbarkeit auf.